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　　首先，硅片在生產(chǎn)和清潔工業(yè)中，使用酸堿水去除硅片表面的有機(jī)物、顆粒、金屬雜質(zhì)、天然氧化層和其他污染物，洗滌后的硅材料需要在烤箱中烘干，因此烘箱內(nèi)各點(diǎn)的溫度均勻性和爐內(nèi)熱風(fēng)循環(huán)的風(fēng)量是需要考慮的因素。

　　其次，在干燥過程中，含有酸堿水的硅材料將以酸堿腐蝕性氣體排放，因此，在選擇多晶硅爐時(shí)，還應(yīng)考慮其廢氣系列。

　　多晶硅是一種以金剛石晶格的形式排列成許多晶核的硅原子，如果這些晶核具有不同的晶面取向，那么這些晶粒就會(huì)組合成多晶硅。多晶硅材料是生產(chǎn)單晶硅的直接原料，是人工智能、自動(dòng)控制、信息處理、光電子轉(zhuǎn)換等半導(dǎo)體器件的電子信息基礎(chǔ)材料。